英杰电气1月11日在互动平台表示，射频电源订单前几个月已经开始放量，向重点客户批量供货，目前公司已经具备了半导体设备（刻蚀机、PECVD等）部分机台射频电源的国产化替代以及量产的能力，其余机台的射频电源研发也正在有序推进，目前推进进度良好。