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晶瑞电材:目前ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中

晶瑞电材5月8日公告,9万吨硫酸产能方面,一期3万吨已经投产,并向部分12英寸核心半导体厂商进行供应,二期6万吨预计将于今年建成。

公司i线光刻胶已向中芯国际、合肥长鑫等国内的知名大尺寸半导体厂商供货;KrF光刻胶生产及测试线已经建成,且KrF光刻胶部分品种已于2022年开始量产,今年将发力拓展新客户;公司于2020年启动了集成电路制造用高端光刻胶研发项目,并于2020年下半年购买了ASML1900Gi型光刻机及配套设备,目前ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中。

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晶瑞电材

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